特點

主動參比測量設計實時扣除熱漂移等偽位移信號

超低熱漂移

深度與載荷信號的電容傳感器測量

雙壓電加載裝置（更加可靠的設計）

雙載荷傳感器（閉環力反饋系統）

符合國際標準ISO 和 ASTM

集成自動光學測量系統

帶有反饋系統的載荷加載裝置

儀器操作系統軟件包

可擴展選項

真空或濕度環境控制

原子力顯微鏡

高分辨率工作臺 (精度0.25微米)

高分辨率CCD光學顯微鏡

環境保護罩

最小有效加載載荷： ?25uN

最大有效加載載荷 ?100mN

有效載荷分辨率 ?1nN

最小接觸力 ?100nN

最大壓痕深度 ?100um

位移分辨率 ?0.0003nm

位移信號噪聲水平 ?0.03nm

位移信號穩定水平（或熱漂移） 0.008nm/sec

加載模式 高精度壓電驅動加載

位移測量  電容傳感器

符合ISO 14577-1，2，3國際標準

加載模式：

線性加載，連續加載卸載，二次項加載，恒應變速率加載，位移控制加載

正弦加載（DMA模式）：

能夠通過一次壓痕獲得接觸剛度、硬度和彈性模量隨壓痕深度的連續函數分布；

能夠測量材料的儲存模量、損耗模量和阻尼

能夠在壓入過程中通過反饋系統保持恒定的簡諧位移振幅。

簡諧力頻率范圍: 1Hz to 200Hz

XY 工作臺： 120 x 20 mm ，245 x 120 mm (OPX+)

XY 工作臺位移分辨率 ：0.25 μm ，0.10 μm (選件)

光學顯微鏡放大倍率： 200x, 4000x

光學顯微鏡攝像鏡頭： 彩色 768 x 582*