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高溫納米壓痕測試儀 UNHT3 HTV

高溫納米壓痕測試儀 UNHT3 HTV

高溫納米壓痕測試儀是測量低載荷下納米尺度機械性能的測試系統，用于測量溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。專利 UNHT 技術與獨特的加熱功能結合，可提供在任何溫度下的高穩定性測量解決方案。

產品特點

技術參數

選配件

新一代的高溫納米壓痕測試儀

環境條件下最低熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個溫度范圍內最低熱漂移 (< 3 nm/min)。
最高載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和最低框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：兩套獨立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結合，可選擇“實際深度”和“載荷控制”模式。
高真空系統具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統，允許在測量期間關閉初級泵，使泵振動降至最低。
獨特的加熱控制系統（3 項專利待批），采用3 個紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓頭、參比壓頭和樣品加熱，以及 4 個熱電偶用于將樣品表面溫度控制到變化在0.1°C 內。
符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國際標準

壓入載荷
最大載荷	100 mN
載荷分辨率	6 nN
壓入位移
最大壓入位移	100 μm
位移分辨率	0.003 nm

真空	10? mBar
最高溫度	800 °C

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